고진공펌프와 배기계.
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작성일 22-12-14 16:08
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여기서 0.1 Pa 이하의 압력에서 동작하는 각종 고진공펌프의 동작원리와 구조를 중심으로 하여 그의
고진공펌프는 대략 0.1 Pa를 경계로 압력영역을 분담하고 있어 진공장치의 동작압력에 따라 단독 혹은 복수의 펌프로
다. 비 n1/n2는 압력비 P1/ P2와 같으므로 (3.1)식은
H = M12 – (P2/ P1) M21 (3..2)
K = (P2/ P1) = (M12/ M21) – (H/ M21) (3.3)
위 단단 날개의 수치를 사용하여 실제의 다단 분자펌프를 평가한다.
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여러 진공장치의 동작압력범위는 대기압(105Pa) 부터 극고진공(10-11 Pa)까지 16자릿수에 이르고 있다아 저진공펌프와
성능과 특징 그리고 진공장치의 사용예에 대상으로하여 개설한다
순서
레포트/기타
1. 머리말
2. 고진공펌프의 종류와 성능펑가
3. 터보 분자펌프
4. 확산펌프
5. 크라이오펌프와 크라이오 소프숀펌프
터빈 날개 한단의 흡기측①으로 배기측②에 흐르는 배기량은,
n1H = n1M12 – n2M21 (3.1)
이다6). 여기서, H는 입사 유량에 대한 실제 유량의 비이며 Ho계수라 부른다. n1,n2 는 흡기측와 배기측의 날개렬에
입사하는 단위시간당의 분자수다. 여기서 0.1 Pa 이하의 압력에서 동작하는 각종 고진공펌프의 동작원리와 구조를 중심으로 하여 그의성능과 특징 그리고 진공장치의 사용예에 대해서 개설한다[기계공학]고진공펌프와배기계 , 고진공펌프와 배기계.기타레포트 ,
배기계를 구성한다. n단의 날개 전체의 최대압축비 Kmaxx는,
Kmax = Kn (3.4)
여기서, K는 압축비이며, K = 1의 때 최대의 Ho가 되며, H = 0인 때 최대의 압축비가 된다
날개 양측의 가스통과확률 M12 , …(省略)
설명
고진공펌프와 배기계.
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여러 진공장치의 동작압력범위는 대기압(105Pa) 부터 극고진공(10-11 Pa)까지 16자릿수에 이르고 있다. 저진공펌프와고진공펌프는 대략 0.1 Pa를 경계로 압력영역을 분담하고 있어 진공장치의 동작압력에 따라 단독 혹은 복수의 펌프로배기계를 구성한다.
